六氟化硫（SF6）氣體分析儀用于高壓設(shè)備（例如高壓絕緣開關(guān)、斷路器等）的絕緣和滅弧已經(jīng)有超過50年的歷史。
SF6氣體是主要的溫室氣體，產(chǎn)生溫室效應(yīng)的能力是二氧化碳的23900倍。因此，在對變電站維護(hù)過程中，測量、監(jiān)測及采樣SF6是非常重要的環(huán)節(jié)。
SF6分解后的產(chǎn)物包括少量硫的氟化物，它們可水解生成氫氟酸（HF）及二氧化硫（SO2）?？諝庵械乃魵饧把鯕庠诰植糠烹姷那闆r下與SF6分解后的產(chǎn)物發(fā)生反應(yīng)，生成各種劇毒物質(zhì)，這些物質(zhì)很難被檢測到。
測量SF6的分解產(chǎn)物非常重要，IEC/CIGRE和ASTM提供了多種這些產(chǎn)物的測量方法，為設(shè)備的維護(hù)人員提供技術(shù)支持。
對SF6的維護(hù)及對其質(zhì)量好壞的分析，在電氣設(shè)備的整個使用、維護(hù)過程中是非常重要的。
對SF6的分析主要用于：
確保電氣設(shè)備在運輸時或者在注入 SF6氣體時處于正常狀態(tài)。
在設(shè)備運行期間，對SF6設(shè)備的惡化情況做出診斷。
對使用過的SF6氣體做合適的處理(例如:回收處理)。
